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    位移傳感器用于精密減振平臺設計


             振動控制是振動工程領域內的一個重要分支。抑制振動的方法主要有:消振、隔振、吸振、阻振或者改變系統結構。消振和改變系統結構在很多情況下無法辦到,常用的振動控制方法是隔振、吸振、阻振。為了保證光學精密儀器工作基礎的穩定性,需要減小或者消除振動對設備的影響。
            精密減振平臺以高精度位移傳感器為測量單元,通過位移傳感器測量減振平臺支撐彈簧的長度變化,然后把輸出的模擬信號轉換為數字信號,再把數字信號送到DSP進行計算,計算結果轉換成電流送給電磁驅動器,自動調整電磁驅動器的電磁力,使光學精密儀器受力平衡,達到減振的目的。
            精密減振平臺為主動控制減振設計。整個平臺可以看做由:傳感單元、控制單元與執行單元組成的閉環反饋控制系統。傳感單元主要完成振動信號的采集,并將采集信號轉換為電信號,輸入控制單元實時計算出執行單元的輸出量。位移傳感器對系統低頻振動與超低頻振動的測量性能優于速度傳感器和加速度傳感器,測量精度與環境適應性較好,可以很好滿足減振平臺的測量需求。
           位移傳感器和電磁驅動器的聯合應用,大幅改善了減振平臺的減振效果。由于各級減振系統之間是相互獨立的,更有利于多級減振,只需要考慮振動平臺的振幅,不需要考慮被隔振物體的振動情況。因為數據采集,傳輸,運算,再到電磁驅動器電流調整,設計中的延時可造成電磁力的大小與彈簧的彈力變化并不相等,因此精密減振平臺只能使振動衰減,并不能達到消振的效果。
           隨著傳感器技術與測控技術的飛速發展,各種新型傳感器、微型傳感器快速投入市場,并大量應用于各類測控系統。高精度位移傳感器的應用更是提升了減振平臺的減振性能,使其逐漸具備更好的應用價值和市場前景。



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